出現(xiàn)卡料問題，需要檢查哪些呢？

1.軌道寬度。

2.框架翹起的情況。

3.料盒位置的擺放與質(zhì)量問題。

晶圓盒是用于周轉(zhuǎn)存儲晶圓的載具。東虹鑫的12寸晶圓盒，采用獨特的卡槽導(dǎo)角設(shè)計，可以100%防止卡槽接觸到晶元。表面內(nèi)槽光滑無毛刺，避免晶圓受損及因毛刺發(fā)生的卡料問題。采用優(yōu)質(zhì)6063鋁型材，陽極氧化處理，耐磨耐腐耐高溫，不變形起始位精確，減少因磨損與變形導(dǎo)致的鐵圈通料不流暢。起始位32.7mm、平整度≦0.05mm，重量6.3kg。

東虹鑫設(shè)計生產(chǎn)多款晶圓盒，適合不同機型的使用，耐磨耐高溫，不變形。尺寸精準，與設(shè)備運行相匹配，0卡料。與多家知名企業(yè)長期合作，獲得行業(yè)內(nèi)的好評。同時為滿足客戶需求與實際情況，可非標定制不同規(guī)格材質(zhì)的晶圓盒，48小時出貨，非標8天，客服24小時在線.